CARATTERISTICHE GENERALI DI UNA CAMERA PULITA CON CHIP AD ALTO LIVELLO DI PULIZIA

1. Caratteristiche di progettazione

A causa delle esigenze di funzionalità, miniaturizzazione, integrazione e precisione dei prodotti a semiconduttore, i requisiti di progettazione di una camera bianca per la produzione di chip differiscono significativamente da quelli di uno stabilimento industriale generico.

(1) Requisiti di pulizia: l'ambiente di produzione dei chip ha elevati requisiti di controllo per il numero di particelle nell'aria;

(2) Requisiti di tenuta all'aria: ridurre le fessure strutturali e rafforzare la tenuta all'aria delle strutture con fessure per ridurre al minimo l'impatto delle perdite d'aria o dell'inquinamento;

(3) Requisiti del sistema di fabbrica: i sistemi di alimentazione ed elettromeccanici speciali soddisfano le esigenze delle macchine di processo, come gas speciali, prodotti chimici, acque reflue pure, ecc.;

(4) Requisiti anti-micro-vibrazione: la lavorazione dei chip richiede un'elevata precisione e l'impatto delle vibrazioni sulle apparecchiature deve essere ridotto;

(5) Requisiti di spazio: la planimetria della fabbrica è semplice, con chiare divisioni funzionali, tubature nascoste e una distribuzione ragionevole dello spazio, che consente flessibilità nell'aggiornamento dei processi e delle attrezzature di produzione.

2. Focus sulla costruzione

(1). Periodo di costruzione più breve. Secondo la legge di Moore, la densità di integrazione dei chip raddoppierà in media ogni 18-24 mesi. Con l'aggiornamento e l'iterazione dei prodotti elettronici, anche la domanda di impianti di produzione verrà aggiornata. A causa del rapido aggiornamento dei prodotti elettronici, la vita utile effettiva degli impianti di produzione di componenti elettronici puliti è di soli 10-15 anni.

(2). Requisiti di organizzazione delle risorse più elevati. La camera bianca elettronica è generalmente caratterizzata da un grande volume di costruzione, tempi di costruzione ristretti, processi strettamente interconnessi, difficile rotazione delle risorse e un consumo di materiali principali più concentrato. Tale organizzazione ristretta delle risorse si traduce in un'elevata pressione sulla gestione complessiva del piano e in elevati requisiti di organizzazione delle risorse. Nella fase di fondazione e struttura principale, ciò si riflette principalmente su manodopera, barre d'acciaio, calcestruzzo, materiali per la struttura, macchinari di sollevamento, ecc.; nella fase elettromeccanica, di decorazione e di installazione delle apparecchiature, si riflette principalmente sui requisiti del sito, sui vari tubi e materiali ausiliari per i macchinari di costruzione, attrezzature speciali, ecc.

(3). Gli elevati requisiti di qualità costruttiva si riflettono principalmente nei tre aspetti di planarità, tenuta all'aria e costruzione a bassa emissione di polvere. Oltre a proteggere le apparecchiature di precisione da danni ambientali, vibrazioni esterne e risonanza ambientale, la stabilità delle apparecchiature stesse è altrettanto importante. Pertanto, il requisito di planarità del pavimento è di 2 mm/2 m. Garantire la tenuta all'aria svolge un ruolo significativo nel mantenere le differenze di pressione tra le diverse aree pulite e quindi nel controllare le fonti di inquinamento. Controllare rigorosamente la pulizia della camera bianca prima di installare le apparecchiature di filtrazione e condizionamento dell'aria e controllare i punti critici soggetti a polvere durante la preparazione della costruzione e la costruzione dopo l'installazione.

(4) Elevati requisiti per la gestione e il coordinamento dei subappalti. Il processo di costruzione di una camera bianca elettronica è complesso, altamente specializzato, coinvolge molti subappaltatori specializzati e presenta un'ampia gamma di operazioni incrociate tra diverse discipline. Pertanto, è necessario coordinare i processi e le superfici di lavoro di ciascuna disciplina, ridurre le operazioni incrociate, comprendere le reali esigenze di passaggio di consegne tra le discipline e svolgere un buon lavoro nel coordinamento e nella gestione dell'appaltatore generale.