Le fonti di particelle sono divise in particelle inorganiche, particelle organiche e particelle viventi. Per il corpo umano è facile provocare malattie respiratorie e polmonari e può anche causare allergie e infezioni virali; per i chip di silicio, l'attaccamento di particelle di polvere causerà la deformazione o il cortocircuito dei circuiti integrati, facendo perdere ai chip le loro funzioni operative, quindi il controllo delle fonti di microinquinamento è diventato una parte importante della gestione delle camere bianche.
L’importanza del controllo ambientale delle camere bianche risiede nel garantire che le condizioni ambientali nel processo di produzione soddisfino specifici standard di pulizia, che sono cruciali per molti settori. Di seguito è riportata l'importanza e il ruolo specifico del controllo ambientale delle camere bianche:
1. Garantire la qualità del prodotto
1.1 Prevenire l'inquinamento: in settori quali quello dei semiconduttori, dei prodotti farmaceutici e delle apparecchiature mediche, le minuscole particelle inquinanti possono causare difetti o guasti dei prodotti. Controllando la qualità dell'aria e la concentrazione di particelle nella camera bianca, è possibile impedire efficacemente che questi inquinanti influenzino il prodotto.
Oltre all'investimento iniziale in attrezzature hardware, il mantenimento e il controllo della pulizia delle camere bianche richiedono anche un buon sistema di gestione "software" per mantenere una buona pulizia. Dai risultati dei dati nella figura sopra, si può vedere che gli operatori hanno il maggiore impatto sulla pulizia della camera bianca. Quando gli operatori entrano nella camera bianca, la polvere aumenta notevolmente. Quando ci sono persone che camminano avanti e indietro, la pulizia peggiora immediatamente. Si può vedere che il motivo principale del deterioramento della pulizia sono i fattori umani.
1.2 Coerenza: l'ambiente della camera bianca aiuta a mantenere la coerenza e la ripetibilità del processo di produzione, garantendo così una qualità stabile del prodotto.
Per quanto riguarda il substrato di vetro, l'adesione delle particelle di polvere causerà graffi sul substrato di vetro, cortocircuiti, bolle e altri processi di scarsa qualità, con conseguente rottamazione. Pertanto, il controllo delle fonti di inquinamento è diventato una parte importante della gestione delle camere bianche.
Intrusione e prevenzione della polvere esterna
La camera bianca deve mantenere una pressione positiva adeguata (>0,5 mm/Hg), svolgere un buon lavoro nel progetto di costruzione preliminare per garantire che non vi siano perdite d'aria e prima di portare personale, attrezzature, materie prime, strumenti, materiali di consumo, ecc. nella camera bianca, devono essere puliti e asciugati, ecc. Azioni di prevenzione della polvere. Allo stesso tempo, gli strumenti di pulizia devono essere posizionati correttamente, sostituiti o puliti regolarmente.
Generazione e prevenzione della polvere nelle camere bianche
La selezione adeguata dei materiali della camera bianca, come pannelli divisori e pavimenti, il controllo delle apparecchiature di processo, ad esempio manutenzione e pulizia regolari, il personale di produzione non è autorizzato a camminare o fare movimenti ampi nelle loro sedi e misure preventive come l'aggiunta di tappetini adesivi sono prelevati in stazioni speciali.
2. Migliorare l'efficienza produttiva
2.1 Ridurre il tasso di scarto: riducendo le impurità e gli inquinanti nel processo di produzione, è possibile ridurre il tasso di scarto, aumentare la resa e quindi migliorare l'efficienza della produzione.
Ad esempio: nella produzione dei wafer ci sono 600 passaggi. Se la resa di ciascun processo è del 99%, qual è la resa complessiva di 600 procedure di processo? Risposta: 0,99^600 = 0,24%.
Per rendere un processo economicamente fattibile, quanto deve essere elevata la resa di ogni passaggio?
•0,999^600= 54,8%
•0,9999^600=94,2%
La resa di ciascun processo deve raggiungere più del 99,99% per raggiungere una resa del processo finale superiore al 90% e la contaminazione di microparticelle influenzerà direttamente la resa del processo.
2.2 Accelerare il processo: lavorare in un ambiente pulito può ridurre i tempi di pulizia e rilavorazione non necessari, rendendo il processo di produzione più efficiente.
3. Garantire la salute e la sicurezza del personale
3.1 Salute sul lavoro: per alcuni processi produttivi che possono rilasciare sostanze nocive, le camere bianche possono impedire la diffusione di sostanze nocive nell'ambiente esterno e proteggere la salute dei lavoratori. Dallo sviluppo dell’umanità, la tecnologia, le attrezzature e la conoscenza sono migliorate, ma la qualità dell’aria è peggiorata. Una persona inala circa 270.000 M3 di aria nella sua vita e trascorre dal 70% al 90% del suo tempo in ambienti chiusi. Minuscole particelle vengono inalate dal corpo umano e depositate nel sistema respiratorio. Particelle da 5 a 30 um si depositano nel rinofaringe, particelle da 1 a 5 um si depositano nella trachea e nei bronchi e particelle inferiori a 1 um si depositano nella parete alveolare.
Le persone che si trovano per lungo tempo in una stanza con un volume di aria fresca insufficiente sono soggette alla "sindrome da interni", con sintomi come mal di testa, costrizione toracica e affaticamento, nonché a malattie del sistema respiratorio e nervoso. lo standard nazionale del mio paese GB/T18883-2002 stabilisce che il volume di aria fresca non deve essere inferiore a 30 m3/h. persona.
Il volume di aria fresca della camera bianca dovrebbe assumere il valore massimo dei due elementi seguenti:
UN. La somma del volume d'aria richiesto per compensare il volume di scarico interno e per garantire il valore di pressione positiva interna.
B. Garantire l'aria fresca richiesta dal personale della camera bianca. Secondo le specifiche di progettazione della camera bianca, il volume di aria fresca per persona all'ora non è inferiore a 40 m3.
3.2 Produzione sicura: controllando parametri ambientali come umidità e temperatura, è possibile evitare rischi per la sicurezza come le scariche elettrostatiche per garantire la sicurezza della produzione.
4. Soddisfare i requisiti normativi e standard
4.1 Standard di settore: molti settori hanno standard di pulizia rigorosi (come ISO 14644) e la produzione deve essere effettuata in camere bianche di gradi specifici. Il rispetto di questi standard non è solo un requisito normativo, ma anche un riflesso della competitività aziendale.
Per banchi di lavoro puliti, capannoni puliti, finestra di trasferimento del flusso laminare, unità filtro ventola FFU, armadio pulito, cappa a flusso laminare, cappa di pesatura, schermo pulito, autopulente, prodotti della serie doccia ad aria, è necessario standardizzare i metodi di test di pulizia dei prodotti prodotti esistenti per migliorare l’affidabilità dei prodotti.
4.2 Certificazione e audit: superare l'audit di agenzie di certificazione di terze parti e ottenere certificazioni pertinenti (come GMP, ISO 9001, ecc.) per rafforzare la fiducia dei clienti ed espandere l'accesso al mercato.
5. Promuovere l'innovazione tecnologica
5.1 Supporto alla ricerca e sviluppo: le camere bianche forniscono un ambiente sperimentale ideale per lo sviluppo di prodotti ad alta tecnologia e aiutano ad accelerare lo sviluppo di nuovi prodotti.
5.2 Ottimizzazione del processo: in un ambiente rigorosamente controllato, è più facile osservare e analizzare l'impatto dei cambiamenti del processo sulle prestazioni del prodotto, promuovendo così il miglioramento del processo.
6. Migliora l'immagine del marchio
6.1 Garanzia di qualità: disporre di impianti di produzione puliti e di alto livello può migliorare l’immagine del marchio e aumentare la fiducia dei clienti nella qualità del prodotto.
6.2 Competitività sul mercato: i prodotti che possono essere realizzati in un ambiente pulito sono spesso considerati un simbolo di alta qualità ed elevata affidabilità, il che aiuta le aziende a distinguersi nella feroce concorrenza del mercato.
7. Ridurre i costi di riparazione e manutenzione
7.1 Prolungare la vita delle apparecchiature: le attrezzature e gli strumenti di produzione che operano in condizioni pulite sono meno suscettibili alla corrosione e all'usura, prolungando così la durata di servizio e riducendo la frequenza e i costi di manutenzione.
7.2 Ridurre il consumo energetico: ottimizzando la progettazione e la gestione delle camere bianche, migliorare l'efficienza energetica, ridurre il consumo energetico e i costi operativi.
Quattro principi di gestione delle operazioni in camera bianca:
1. Non introdurre:
Il telaio del filtro Hepa non può perdere.
La pressione progettata deve essere mantenuta all'interno.
Gli operatori devono cambiarsi i vestiti ed entrare nella camera bianca dopo la doccia d'aria.
Tutti i materiali, le attrezzature e gli strumenti utilizzati devono essere puliti prima di poter essere introdotti.
2. Non generare:
Il personale deve indossare indumenti privi di polvere.
Ridurre le azioni non necessarie.
Non utilizzare materiali che generano facilmente polvere.
Non è possibile introdurre oggetti non necessari.
3. Non cumulare:
Non dovrebbero esserci angoli e periferie della macchina difficili da pulire o pulire.
Cercare di ridurre al minimo i condotti dell'aria, i tubi dell'acqua, ecc. esposti all'interno.
La pulizia deve essere effettuata secondo modalità standard e tempi specificati.
4. Rimuovere immediatamente:
Aumentare il numero dei cambi d'aria.
Scarico vicino alla parte che genera polvere.
Migliorare la forma del flusso d'aria per evitare che la polvere aderisca al prodotto.
In breve, il controllo ambientale delle camere bianche è di grande importanza per garantire la qualità del prodotto, migliorare l’efficienza produttiva, proteggere la salute e la sicurezza del personale, soddisfare i requisiti normativi, promuovere l’innovazione tecnologica e migliorare l’immagine del marchio. Le imprese dovrebbero considerare pienamente questi fattori quando costruiscono e mantengono camere bianche per garantire che le camere bianche possano soddisfare le esigenze di produzione e ricerca e sviluppo.
Orario di pubblicazione: 12 novembre 2024