Protezione antincendio e approvvigionamento idrico in camera pulita

Le strutture di protezione antincendio sono una parte importante della stanza pulita. La sua importanza non è solo perché le sue attrezzature di processo e i progetti di costruzione sono costosi, ma anche perché le camere pulite sono edifici relativamente chiusi e alcuni sono persino seminari senza finestre. I passaggi della stanza pulita sono stretti e tortuosi, rendendo difficile evacuare il personale e insegnare al fuoco. Al fine di garantire la sicurezza della vita e della proprietà delle persone, la politica di protezione antincendio di "Prevention First, combinando prevenzione e incendio" dovrebbe essere implementata nella progettazione. Oltre a adottare efficaci misure di prevenzione degli incendi nella progettazione della stanza pulita, inoltre, vengono istituite anche le necessarie strutture di combattimento antincendio. Le caratteristiche di produzione delle camere pulite sono:

(1) Esistono molte attrezzature e strumenti di precisione e vengono utilizzati una varietà di gas e liquidi infiammabili, esplosivi, corrosivi e tossici. Il pericolo di incendio di alcune parti di produzione appartiene alla categoria C (come diffusione dell'ossidazione, fotolitografia, impianto ionico, stampa e imballaggio, ecc.) E alcune appartengono alla categoria A (come tiri a cristallo singolo, epitassia, deposizione di vapori chimici, ecc. .).

(2) La stanza pulita è molto ermetica. Una volta scoppiato un incendio, sarà difficile evacuare il personale e spegnere il fuoco.

(3) Il costo di costruzione della stanza pulita è elevato e le attrezzature e gli strumenti sono costosi. Una volta scoppiato un incendio, le perdite economiche saranno enormi.

Sulla base delle caratteristiche di cui sopra, le camere pulite hanno requisiti molto elevati per la protezione antincendio. Oltre al sistema di protezione antincendio e di approvvigionamento idrico, dovrebbero essere installati anche dispositivi di estinzione fissa, in particolare attrezzature e strumenti preziosi nella stanza pulita devono essere determinati attentamente.