Oltre al rigoroso controllo delle particelle, anche la stanza elettronica pulita rappresentata da seminari di produzione di chip, seminari integrati senza polvere e seminari di produzione di disco hanno requisiti più rigorosi per il controllo di temperatura e umidità, illuminazione e micro-shock. Rimuovere rigorosamente l'impatto dell'elettricità statica sui prodotti di produzione, in modo che l'ambiente possa soddisfare i requisiti del processo di produzione dei prodotti elettronici in un ambiente pulito.
La temperatura e l'umidità della stanza pulita elettronica devono essere determinate in base ai requisiti del processo di produzione. Quando non ci sono requisiti specifici per il processo di produzione, la temperatura può essere di 20-26 ° C e l'umidità relativa è del 30%-70%. La temperatura del personale pulito e soggiorno può essere 16-28 ℃. Secondo lo standard nazionale cinese GB-50073, che è in linea con gli standard ISO internazionali, il livello di pulizia di questo tipo di camera pulita è 1-9. Tra questi, la classe 1-5, il modello di flusso d'aria è un flusso unidirezionale o un flusso misto; Il modello di flusso d'aria di classe 6 è un flusso non unidirezionale e il cambiamento dell'aria è 50-60 volte/h; Il tipo di flusso d'aria di classe 7 è un flusso non unidirezionale e il cambiamento dell'aria è 15-25 volte/h; Il tipo di flusso d'aria di classe 8-9 è un flusso non unidirezionale, la variazione dell'aria è di 10-15 volte/h.
Secondo le specifiche attuali, il livello di rumore all'interno della Classe 10.000 Electronic Clean Room non deve essere maggiore di 65dB (A).
1. L'intero rapporto tra la stanza pulita del flusso verticale nella stanza elettronica pulita non deve essere inferiore al 60%e la stanza orizzontale unidirezionale a flusso unidirezionale non dovrebbe essere inferiore al 40%, altrimenti sarà un flusso unidirezionale parziale.
2. La differenza di pressione statica tra la stanza elettronica pulita e l'esterno non dovrebbe essere inferiore a 10Pa e la differenza di pressione statica tra aree pulite e aree non pulite con diversa pulizia dell'aria non dovrebbe essere inferiore a 5PA.
3. La quantità di aria fresca in una camera pulita elettronica di classe 10000 dovrebbe prendere il valore dei seguenti due articoli.
4. Completare la somma del volume dell'aria di scarico interno e il volume dell'aria fresca necessaria per mantenere il valore di pressione positiva interna.
5. Assicurarsi che la quantità di aria fresca fornita a una stanza pulita per persona all'ora non sia inferiore a 40 metri quadrati.
Tempo post: aprile-08-2024