1. Rimozione delle particelle di polvere in camera pulita senza polvere
La funzione principale della stanza pulita è controllare la pulizia, la temperatura e l'umidità dell'atmosfera a cui sono esposti prodotti (come chip di silicio, ecc.), In modo che i prodotti possano essere prodotti e fabbricati in un buon spazio ambientale. Chiamiamo questo spazio come stanza pulita. Secondo la pratica internazionale, il livello di pulizia è determinato principalmente dal numero di particelle per metro cubo d'aria con un diametro maggiore dello standard di classificazione. In altre parole, il cosiddetto privo di polvere non è privo di polvere al 100%, ma controllata in un'unità molto piccola. Naturalmente, le particelle che soddisfano lo standard di polvere in questo standard sono già molto piccole rispetto alla polvere comune che vediamo, ma per le strutture ottiche, anche un po 'di polvere avrà un impatto negativo molto grande, quindi senza polvere è un requisito inevitabile Nella produzione di prodotti a struttura ottica.
Il controllo del numero di particelle di polvere con una dimensione delle particelle maggiore o uguale a 0,5 micron per metro cubico a meno di 3520/metri cubi raggiungerà la classe A dello standard internazionale senza polvere. Lo standard senza polvere utilizzato nella produzione e nella lavorazione a livello di chip ha requisiti più elevati per la polvere rispetto alla classe A e uno standard così elevato viene utilizzato principalmente nella produzione di alcuni chip di livello superiore. Il numero di particelle di polvere è rigorosamente controllato a 35.200 per metro cubo, che è comunemente noto come classe B nell'industria della camera pulita.
2. Tre tipi di stati della stanza pulita
VUOTA COLURA COLURA: una struttura per camere pulita che è stata costruita e può essere messa in uso. Ha tutti i servizi e le funzioni pertinenti. Tuttavia, non vi sono attrezzature gestite dagli operatori nella struttura.
Static Clean Room: una struttura in camera pulita con funzioni complete, impostazioni e installazione adeguate, che possono essere utilizzate in base alle impostazioni o sono in uso, ma non ci sono operatori nella struttura.
Camera pulita dinamica: una stanza pulita in uso normale, con funzioni di servizio complete, attrezzature e personale; Se necessario, è possibile svolgere un lavoro normale.
3. Articoli di controllo
(1). Può rimuovere le particelle di polvere che galleggiano nell'aria.
(2). Può impedire la generazione di particelle di polvere.
(3). Controllo della temperatura e dell'umidità.
(4). Regolazione della pressione.
(5). Eliminazione di gas dannosi.
(6). Tennità d'aria di strutture e compartimenti.
(7). Prevenzione dell'elettricità statica.
(8). Prevenzione dell'interferenza elettromagnetica.
(9). Considerazione di fattori di sicurezza.
(10). Considerazione del risparmio energetico.
4. Classificazione
Tipo di flusso turbolento
L'aria entra nella stanza pulita dalla scatola di aria condizionata attraverso il condotto dell'aria e il filtro dell'aria (HEPA) in camera pulita e viene restituita dai pannelli delle pareti della partizione o pavimenti elevati su entrambi i lati della stanza pulita. Il flusso d'aria non si muove in modo lineare ma presenta uno stato turbolento o parassita irregolare. Questo tipo è adatto alla classe Classe 1.000-100.000 Clean Room.
Definizione: una stanza pulita in cui il flusso d'aria scorre a una velocità irregolare e non è parallela, accompagnata da una corrente di riflusso o parassita.
Principio: le camere pulite turbolente si affidano al flusso d'aria di alimentazione dell'aria per diluire continuamente l'aria interna e diluire gradualmente l'aria inquinata per ottenere la pulizia (le camere pulite turbolente sono generalmente progettate a livelli di pulizia superiori a 1.000 a 300.000).
Caratteristiche: camere pulite turbolente si basano su più ventilazione per raggiungere i livelli di pulizia e pulizia. Il numero di cambiamenti di ventilazione determina il livello di purificazione nella definizione (più cambiamenti di ventilazione, maggiore è il livello di pulizia)
(1) Tempo di auto-purificazione: si riferisce al tempo in cui la stanza pulita inizia a fornire aria nella stanza pulita in base al numero di ventilazione progettato e la concentrazione di polvere nella stanza raggiunge il livello di pulizia progettata che la classe 1.000 non dovrebbe essere più Per 20 minuti (15 minuti possono essere utilizzati per il calcolo) la classe 10.000 dovrebbe essere più di 30 minuti (25 minuti possono essere utilizzati per il calcolo) la classe 100.000 dovrebbe essere più di 40 minuti (è possibile utilizzare 30 minuti (30 minuti possono essere utilizzati calcolo)
; ) Classe 100.000: 14.4-19.2 volte/ora (standard: 15 volte/ora)
Vantaggi: struttura semplice, costi di costruzione a basso sistema, camera pulita facile da espandere, in alcuni luoghi speciali, è possibile utilizzare una panca pulita senza polvere per migliorare il grado pulito.
Svantaggi: particelle di polvere causate dal galleggiante di turbolenza nello spazio interno e sono difficili da scaricare, il che può facilmente contaminare i prodotti di processo. Inoltre, se il sistema viene fermato e quindi attivato, spesso ci vuole molto tempo per ottenere la pulizia richiesta.
Flusso laminare
L'aria di flusso laminare si muove in linea retta uniforme. L'aria entra nella stanza attraverso un filtro con un tasso di copertura del 100% e viene restituita attraverso il pavimento elevato o le schede di partizione su entrambi i lati. Questo tipo è adatto per l'uso in ambienti per camere pulite con voti puliti più elevati, generalmente Classe 1 ~ 100. Ci sono due tipi:
(1) Flusso laminare orizzontale: l'aria orizzontale viene spazzata via dal filtro in un'unica direzione e restituita dal sistema di aria di ritorno sulla parete opposta. La polvere viene scaricata all'aperto con la direzione dell'aria. In generale, l'inquinamento è più grave sul lato a valle.
Vantaggi: una struttura semplice, può diventare stabile in breve tempo dopo l'operazione.
Svantaggi: il costo di costruzione è superiore al flusso turbolento e lo spazio interno non è facile da espandere.
(2) Flusso laminario verticale: il soffitto della stanza è completamente coperto con filtri ULPA e l'aria viene saltata dall'alto verso il basso, il che può ottenere una maggiore pulizia. La polvere generata durante il processo o dal personale può essere rapidamente scaricata all'aperto senza influire su altre aree di lavoro.
Vantaggi: lo stato stabile facile da gestire, può essere raggiunto entro poco tempo dopo l'inizio dell'operazione e non facilmente influenzato dallo stato operativo o dagli operatori.
Svantaggi: costi di costruzione elevati, spazio difficile da utilizzare in modo flessibile, i ganci a soffitto occupano molto spazio e problematici per riparare e sostituire i filtri.
Tipo composito
Il tipo composito consiste nel combinare o utilizzare insieme il tipo di flusso turbolento e il tipo di flusso laminare, che può fornire aria ultra-pulita locale.
(1) Tunnel pulito: utilizzare i filtri HEPA o ULPA per coprire il 100% dell'area di processo o dell'area di lavoro per aumentare il livello di pulizia fino alla classe 10 sopra, che può risparmiare costi di installazione e funzionamento.
Questo tipo richiede che l'area di lavoro dell'operatore sia isolata dalla manutenzione del prodotto e della macchina per evitare di influenzare il lavoro e la qualità durante la manutenzione della macchina.
I tunnel puliti hanno altri due vantaggi: A. Facile da espandere in modo flessibile; B. La manutenzione delle attrezzature può essere facilmente eseguita nell'area di manutenzione.
(2) Tubo pulito: circondare e purificare la linea di produzione automatica attraverso la quale il flusso del prodotto passa e aumentare il livello di pulizia verso la classe 100. L'offerta d'aria può ottenere una buona pulizia, che può risparmiare energia ed è più adatta per linee di produzione automatizzate che non richiedono lavoro manuale. È applicabile alle industrie farmaceutiche, alimentari e semiconduttori.
(3) Spot pulito: il livello di pulizia dell'area del processo del prodotto nella camera pulita turbolenta con un livello di camera pulita di 10.000 ~ 100.000 è aumentato a 10 ~ 1000 o superiore a fini di produzione; Banchi da lavoro puliti, capannoni puliti, camere pulite prefabbricate e armadi puliti appartengono a questa categoria.
Panchina pulita: classe 1 ~ 100.
Cabina pulita: un piccolo spazio circondato da un panno in plastica trasparente antistatico nello spazio turbolento pulito della stanza, usando HEPA o Ulpa indipendenti e unità di condizionamento dell'aria per diventare uno spazio pulito di livello superiore, con un livello di 10 ~ 1000, un'altezza di circa 2,5 metri e un'area di copertura di circa 10 m2 o meno. Ha quattro pilastri ed è dotato di ruote mobili per un uso flessibile.
5. Flusso del flusso d'aria
Importanza del flusso d'aria
La pulizia di una stanza pulita è spesso influenzata dal flusso d'aria. In altre parole, il movimento e la diffusione della polvere generati da persone, scomparti a macchina, strutture per la costruzione, ecc. Sono controllati da flusso d'aria.
La stanza pulita utilizza HEPA e ULPA per filtrare l'aria e la sua velocità di raccolta della polvere è fino al 99,97 ~ 99,99995%, quindi si può dire che l'aria filtrata da questo filtro sia molto pulita. Tuttavia, oltre alle persone, ci sono anche fonti di polvere come macchine nella stanza pulita. Una volta diffuse queste polveri generate, è impossibile mantenere uno spazio pulito, quindi il flusso d'aria deve essere utilizzato per scaricare rapidamente la polvere generata all'aperto.
Fattori influenzanti
Esistono molti fattori che influenzano il flusso d'aria di una stanza pulita, come attrezzature di processo, personale, materiali di assemblaggio della stanza pulita, dispositivi di illuminazione, ecc. Allo stesso tempo, anche il punto di diversione del flusso d'aria sopra l'attrezzatura di produzione dovrebbe essere preso considerazione.
Il punto di diversione del flusso d'aria sulla superficie di un tavolo operativo generale o attrezzatura di produzione dovrebbe essere fissato a 2/3 della distanza tra lo spazio della stanza pulita e la scheda di partizione. In questo modo, quando l'operatore funziona, il flusso d'aria può fluire dall'interno dell'area di processo all'area operativa e togliere la polvere; Se il punto di diversione è configurato di fronte all'area di processo, diventerà una diversione del flusso d'aria improprio. Al momento, la maggior parte del flusso d'aria scorrerà sul retro dell'area di processo e la polvere causata dal funzionamento dell'operatore verrà trasportata sul retro dell'attrezzatura e il banco di lavoro sarà contaminato e la resa diminuirà inevitabilmente.
Gli ostacoli come i tavoli da lavoro nelle stanze pulite avranno correnti parassite all'incrocio e la pulizia vicino a loro sarà relativamente scarsa. La perforazione di un foro d'aria di ritorno sul tavolo di lavoro minimizzerà il fenomeno della corrente parassita; Se la selezione dei materiali di montaggio è appropriata e se il layout dell'attrezzatura è perfetto sono anche fattori importanti per se il flusso d'aria diventa un fenomeno di corrente parassita.
6. Composizione della stanza pulita
La composizione della stanza pulita è composta dai seguenti sistemi (nessuno dei quali è indispensabile nelle molecole del sistema), altrimenti non sarà possibile formare una stanza pulita completa e di alta qualità:
(1) Sistema del soffitto: incluso l'asta del soffitto, il raggio a I o il raggio a U, la griglia del soffitto o il telaio del soffitto.
(2) Sistema di condizionamento dell'aria: compresa la cabina dell'aria, il sistema di filtro, il mulino a vento, ecc.
(3) parete partizionale: comprese finestre e porte.
(4) Pavimento: compreso il pavimento elevato o il pavimento anti-statico.
(5) Apparecchi di illuminazione: lampada piatta per purificazione a LED.
La struttura principale della stanza pulita è generalmente realizzata con barre d'acciaio o cemento osseo, ma indipendentemente dal tipo di struttura, deve soddisfare le seguenti condizioni:
A. Non si verificheranno crepe a causa di variazioni di temperatura e vibrazioni;
B. Non è facile produrre particelle di polvere ed è difficile per le particelle collegare;
C. bassa igroscopicità;
D. Al fine di mantenere le condizioni di umidità nella stanza pulita, l'isolamento termico deve essere elevato;
7. Classificazione per uso
Camera pulita industriale
Il controllo delle particelle inanimate è l'oggetto. Controlla principalmente l'inquinamento delle particelle di polvere d'aria all'oggetto di lavoro e l'interno mantiene generalmente uno stato di pressione positivo. È adatto per l'industria dei macchinari di precisione, l'industria elettronica (semiconduttori, circuiti integrati, ecc.), Industria aerospaziale, industria chimica di alta purezza, industria dell'energia atomica, industria dei prodotti ottici e magnetici (CD, Film, Tape Production) LCD (liquido Crystal Glass), disco rigido del computer, produzione del capo computer e altri settori.
Camera pulita biologica
Controlla principalmente l'inquinamento delle particelle viventi (batteri) e particelle inanimate (polvere) all'oggetto di lavoro. Può essere diviso in;
A. Sala generale biologica generale: controlla principalmente l'inquinamento degli oggetti microbici (batterici). Allo stesso tempo, i suoi materiali interni devono essere in grado di resistere all'erosione di vari agenti sterilizzanti e l'interno generalmente garantisce una pressione positiva. In sostanza, i materiali interni devono essere in grado di resistere a vari trattamenti di sterilizzazione della camera pulita industriale. Esempi: industria farmaceutica, ospedali (sale operative, reparti sterili), cibo, cosmetici, produzione di prodotti per bevande, laboratori animali, laboratori di test fisici e chimici, stazioni sanguigne, ecc.
B. Sicurezza biologica Clean Room: controlla principalmente l'inquinamento delle particelle viventi dell'oggetto di lavoro al mondo esterno e alle persone. La pressione interna deve essere mantenuta negativa con l'atmosfera. Esempi: batteriologia, biologia, laboratori puliti, ingegneria fisica (geni ricombinanti, preparazione del vaccino)
Tempo post: feb-07-2025